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橢偏儀的原理以及應(yīng)用
什么是橢偏儀/橢圓偏振儀？
橢偏儀/橢圓偏振儀是一種用于探測薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測量儀器。
橢偏儀的基本原理：
利用偏振光測量薄膜或界面參量，通過測量被測樣品反射(或透射)光線偏振狀態(tài)的變化來獲得樣品參量。 以我們優(yōu)尼康科技有限公司提供的一款多波長橢偏儀為例，簡單介紹下橢偏儀的功能。
這款型號為Film Sense FS-1的橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)薄膜測量。大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要1秒測量，就可以獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常數(shù)和其他薄膜特性。
Film Sense FS-1多波長橢偏儀這款功能多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1可應(yīng)用于研究實驗室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域。
橢偏儀的應(yīng)用：
由于測量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為有力的測量儀器。橢偏儀/橢圓偏振儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過程中。
可測材料：半導(dǎo)體、介電材料、有機(jī)高分子聚合物、金屬氧化物、多層膜物質(zhì)和石墨烯等等。
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